As semiconductoràti pé àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ microelectronic ń dàgbàsókè sí iṣẹ́ gíga àti ìṣọ̀kan gíga, àwọn ohun tí ó ga jùlọ ni a gbé kalẹ̀ lórí mímọ́ àwọn gaasi pàtàkì elekitironiki. Ìmọ̀ ẹ̀rọ pípa gaasi mímọ́ gíga jẹ́ apá pàtàkì nínú ètò ìpèsè gaasi mímọ́ gíga. Ó jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ pàtàkì fún fífi àwọn gaasi mímọ́ gíga tí ó bá àwọn ohun tí a béèrè mu sí àwọn ibi lílo gaasi nígbàtí ó ṣì ń pa dídára tó péye mọ́.
Ìmọ̀-ẹ̀rọ pípa páìpù tó ga jùlọ ní nínú àwòrán tó tọ́ fún ètò náà, yíyan àwọn ohun èlò pípa páìpù àti àwọn ohun èlò ìrànlọ́wọ́, ìkọ́lé àti fífi sori ẹrọ àti ìdánwò.
01. Èrò gbogbogbo nípa páìpù gbigbe gaasi
Gbogbo awọn gaasi mimọ giga ati mimọ giga ni a nilo lati gbe lọ si aaye gaasi opin nipasẹ awọn opo gigun. Lati le pade awọn ibeere didara ilana fun gaasi, nigbati atọka okeere gaasi ba daju, o ṣe pataki diẹ sii lati fiyesi si yiyan ohun elo ati didara ikole ti eto paipu. Ni afikun si deede ti iṣelọpọ gaasi tabi ohun elo mimọ, ọpọlọpọ awọn ifosiwewe ti eto paipu ni ipa pupọ ninu rẹ. Nitorinaa, yiyan awọn paipu nilo lati tẹle awọn ilana ile-iṣẹ mimọ ti o yẹ ki o si samisi ohun elo ti awọn paipu ninu awọn aworan.
02 Pataki awọn opo gigun ti o mọ gaasi ninu gbigbe gaasi
Pàtàkì àwọn páìpù omi mímọ́ tó ga jùlọ nínú ìrìnnà gaasi mímọ́ tó ga jùlọ Nígbà tí a bá ń yọ́ irin alágbára, tọ́ọ̀nù kọ̀ọ̀kan lè fa nǹkan bí 200g gaasi. Lẹ́yìn tí a bá ti ṣe àtúnṣe irin alágbára tó ga jùlọ, kìí ṣe pé onírúurú èérí ló máa ń di mọ́ ojú rẹ̀ nìkan ni, ṣùgbọ́n a tún máa ń fa gaasi díẹ̀ nínú irin alágbára rẹ̀. Nígbà tí afẹ́fẹ́ bá ń kọjá nínú páìpù omi, apá gáàsì tí irin náà gbà yóò tún wọ inú afẹ́fẹ́ omi náà, yóò sì ba gaasi mímọ́ tó ga jẹ́.
Tí afẹ́fẹ́ inú páìpù náà bá ń dáwọ́ dúró, páìpù náà máa ń fa ìfúnpọ̀ lórí páìpù náà. Nígbà tí afẹ́fẹ́ bá dáwọ́ dúró, páìpù náà máa ń dín ìfúnpọ̀ kù, páìpù náà sì máa ń wọ inú páìpù náà gẹ́gẹ́ bí ohun àìmọ́.
Ní àkókò kan náà, ìyípo ìfàmọ́ra àti ìṣàyẹ̀wò yóò mú kí irin tí ó wà lórí ojú inú páìpù náà mú ìwọ̀n lulú kan jáde. Ẹ̀rọ eruku irin yìí tún ń ba gáàsì mímọ́ nínú páìpù náà jẹ́. Ànímọ́ yìí ti páìpù náà ṣe pàtàkì gan-an. Láti rí i dájú pé gáàsì tí a ń gbé kiri mọ́, kì í ṣe pé ó nílò kí ojú inú páìpù náà ní dídán gan-an, ṣùgbọ́n kí ó tún ní agbára ìdènà ìbàjẹ́ gíga.
Tí gáàsì náà bá ní agbára ìbàjẹ́ tó lágbára, a gbọ́dọ̀ lo àwọn páìpù irin alagbara tí kò lè jẹ́ kí ó jẹ́ kí ó jẹ́ kí ó máa bàjẹ́. Bí bẹ́ẹ̀ kọ́, àwọn àmì ìbàjẹ́ yóò hàn lórí ojú inú páìpù náà nítorí ìbàjẹ́. Ní àwọn ọ̀ràn tó le koko, àwọn irin ńláńlá yóò bọ́ tàbí kí wọ́n bẹ́, èyí á sì ba gáàsì mímọ́ tí wọ́n ń gbé kiri jẹ́.
03 Ohun èlò páìpù
A gbọ́dọ̀ yan ohun èlò tí a ó fi yan páìpù náà gẹ́gẹ́ bí a ṣe fẹ́ lò ó. A sábà máa ń wọn dídára páìpù náà gẹ́gẹ́ bí ìrísí ojú inú páìpù náà. Bí ìrísí náà bá ṣe kéré tó, bẹ́ẹ̀ náà ni kò ṣe ní ṣeé ṣe láti gbé àwọn èròjà. A sábà máa ń pín in sí oríṣi mẹ́ta:
Ọkan niPíìpù EP ìpele 316L, èyí tí a ti fi iná mànàmáná ṣe (Electro-Polish). Ó ní ìdènà ìjẹrà, ó sì ní ìrísí ojú ilẹ̀ tí kò lágbára. Rmax (òkè gíga sí àfonífojì) jẹ́ nǹkan bí 0.3μm tàbí kí ó dín sí i. Ó ní ìrọ̀rùn gíga jùlọ, kò sì rọrùn láti ṣẹ̀dá àwọn ìṣàn micro-eddy. Yọ àwọn èròjà tí ó ti bàjẹ́ kúrò. Gáàsì ìṣesí tí a lò nínú iṣẹ́ náà yẹ kí ó wà ní ìpele yìí.
Ọkan jẹIpele BA 316Lpáìpù, èyí tí Bright Anneal ti tọ́jú, tí a sì sábà máa ń lò fún àwọn gáàsì tí ó bá ara wọn mu ṣùgbọ́n tí wọn kò kópa nínú ìṣiṣẹ́ náà, bíi GN2 àti CDA. Ọ̀kan ni AP páìpù (Annealing & Picking), èyí tí a kò tọ́jú ní pàtó, tí a sì sábà máa ń lò fún àwọn páìpù ìta méjì tí a kò lò gẹ́gẹ́ bí ìlà ìpèsè gáàsì.
04 Iṣẹ́ páìpù
Ṣíṣe àgbékalẹ̀ ẹnu páìpù jẹ́ ọ̀kan lára àwọn kókó pàtàkì ti ìmọ̀-ẹ̀rọ ìkọ́lé yìí. Gígé àti ṣíṣe àtúnṣe páìpù ni a ń ṣe ní àyíká mímọ́ tónítóní, ní àkókò kan náà, a rí i dájú pé kò sí àmì tàbí ìbàjẹ́ kankan lórí ojú páìpù náà kí a tó gé e. A gbọ́dọ̀ ṣe ìmúrasílẹ̀ fún fífi nitrogen sínú páìpù náà kí a tó ṣí páìpù náà. Ní ìlànà, a ń lo páìpù náà láti so àwọn páìpù gaasi tí ó mọ́ tónítóní àti tí ó mọ́ tónítóní pọ̀ mọ́ ìṣàn ńlá, ṣùgbọ́n a kò gbà láyè láti lo páìpù náà. A gbọ́dọ̀ lo àwọn ìsopọ̀ páìpù náà, a sì gbọ́dọ̀ lo ohun èlò páìpù tí a lò láti má ṣe ní ìyípadà nínú ìṣètò nígbà páìpù náà. Tí ohun èlò tí ó ní èròjà carbon tí ó pọ̀ jù bá di páìpù náà, afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ ti apá páìpù náà yóò fa kí gaasi inú àti òde páìpù náà wọ inú ara wọn, èyí tí yóò ba ìwà mímọ́, gbígbẹ àti mímọ́ ti gaasi tí ń gbé e lọ jẹ́, èyí tí yóò yọrí sí àwọn àbájáde búburú àti ìpalára iṣẹ́ náà.
Ní ṣókí, fún àwọn páìpù gáàsì mímọ́ tó ga àti àwọn páìpù gáàsì pàtàkì, a gbọ́dọ̀ lo páìpù irin alagbara tó mọ́ tó ga tí a tọ́jú ní pàtàkì, èyí tó mú kí ètò páìpù gáàsì mímọ́ tó ga (pẹ̀lú àwọn páìpù gáàsì, àwọn ohun èlò páìpù, àwọn fáìlì, VMB, àti VMP) gba iṣẹ́ pàtàkì nínú pípín gáàsì mímọ́ tó ga.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-26-2024