As semikondokitoati awọn imọ-ẹrọ microelectronic dagbasoke si iṣẹ ṣiṣe ti o ga julọ ati isọpọ giga, awọn ibeere ti o ga julọ ni a gbe sori mimọ ti awọn gaasi pataki itanna. Imọ-ẹrọ fifin gaasi mimọ-giga jẹ apakan pataki ti eto ipese gaasi mimọ-giga. O jẹ imọ-ẹrọ bọtini fun jiṣẹ awọn gaasi mimọ-giga ti o pade awọn ibeere si awọn aaye lilo gaasi lakoko ti o n ṣetọju didara to peye.
Imọ-ẹrọ fifin mimọ-giga pẹlu apẹrẹ ti o pe ti eto, yiyan ti awọn ohun elo paipu ati awọn ohun elo iranlọwọ, ikole ati fifi sori ẹrọ ati idanwo.
01 Gbogbogbo Erongba ti gaasi gbigbe paipu
Gbogbo awọn gaasi mimọ-giga ati mimọ-giga nilo lati gbe lọ si aaye gaasi ebute nipasẹ awọn opo gigun ti epo. Lati le pade awọn ibeere didara ilana fun gaasi, nigbati atọka okeere gaasi jẹ idaniloju, o jẹ pataki diẹ sii lati san ifojusi si yiyan ohun elo ati didara ikole ti eto fifin. Ni afikun si išedede ti iṣelọpọ gaasi tabi ohun elo ìwẹnumọ, o ni ipa pupọ nipasẹ ọpọlọpọ awọn ifosiwewe ti eto opo gigun ti epo. Nitorinaa, yiyan awọn paipu nilo lati faramọ awọn ilana ile-iṣẹ isọdọmọ ti o yẹ ati samisi ohun elo ti awọn oniho ni awọn iyaworan.
02 Pataki ti awọn opo gigun ti o ni mimọ ni gbigbe gaasi
Pataki ti awọn opo gigun ti nw gaasi ni gbigbe gaasi mimọ-giga Lakoko ilana gbigbo irin alagbara, irin kọọkan le fa nipa 200g ti gaasi. Lẹhin ti irin alagbara ti ni ilọsiwaju, kii ṣe pe ọpọlọpọ awọn idoti di lori oju rẹ nikan, ṣugbọn iye gaasi kan tun gba sinu latti irin rẹ. Nigbati ṣiṣan afẹfẹ ba n kọja nipasẹ opo gigun ti epo, apakan ti gaasi ti o gba nipasẹ irin yoo tun wọ inu ṣiṣan afẹfẹ ati ki o sọ gaasi mimọ.
Nigbati ṣiṣan afẹfẹ ninu paipu naa ba dawọ duro, paipu naa n ṣe adsorption titẹ lori gaasi ti n kọja. Nigbati ṣiṣan afẹfẹ ba duro lati kọja, gaasi ti paipu ti paipu n ṣe itupalẹ idinku titẹ, ati gaasi ti a ṣe atupale tun wọ gaasi mimọ ninu paipu bi aimọ.
Ni akoko kan naa, awọn adsorption ati onínọmbà ọmọ yoo fa awọn irin lori akojọpọ dada ti paipu lati gbe awọn kan awọn iye ti lulú. Patipa eruku irin yii tun ba gaasi mimọ ti o wa ninu paipu jẹ. Iwa yii ti paipu jẹ pataki pupọ. Ni ibere lati rii daju mimọ ti gaasi gbigbe, kii ṣe nikan ni o nilo pe oju inu ti paipu naa ni didan ti o ga pupọ, ṣugbọn tun pe o yẹ ki o ni idiwọ yiya giga.
Nigbati gaasi ba ni awọn ohun-ini ipata to lagbara, awọn paipu irin alagbara, irin ti o ni ipata gbọdọ ṣee lo fun fifin. Bibẹẹkọ, awọn aaye ibajẹ yoo han lori inu inu paipu nitori ibajẹ. Ni awọn ọran ti o lewu, awọn ege irin nla yoo yọ kuro tabi paapaa perforate, nitorinaa ibajẹ gaasi mimọ ni gbigbe.
03 Ohun elo paipu
Aṣayan ohun elo ti paipu nilo lati yan ni ibamu si awọn iwulo lilo. Didara paipu ni gbogbo wọn ni ibamu si roughness ti inu inu paipu naa. Isalẹ awọn roughness, awọn kere seese o ni lati gbe patikulu. Ni gbogbogbo pin si awọn oriṣi mẹta:
Ọkan jẹEP ite 316L paipu, eyi ti a ti ṣe itanna didan (Electro-Polish). O jẹ sooro ipata ati pe o ni aibikita dada kekere. Rmax (oke ti o ga julọ si giga afonifoji) jẹ nipa 0.3μm tabi kere si. O ni filati ti o ga julọ ati pe ko rọrun lati ṣe awọn ṣiṣan micro-eddy. Yọ awọn patikulu ti a ti doti kuro. Gaasi ifaseyin ti a lo ninu ilana yẹ ki o paipu ni ipele yii.
Ọkan jẹ aBA ite 316Lpaipu, eyiti o jẹ itọju nipasẹ Bright Anneal ati pe a lo nigbagbogbo fun awọn gaasi ti o wa ni ifọwọkan pẹlu chirún ṣugbọn ko kopa ninu iṣesi ilana, bii GN2 ati CDA. Ọkan jẹ paipu AP (Annealing & Picking), eyiti ko ṣe itọju pataki ati pe a lo ni gbogbogbo fun awọn eto meji ti awọn paipu ita ti a ko lo bi awọn laini ipese gaasi.
04 Pipeline ikole
Ṣiṣẹda ẹnu paipu jẹ ọkan ninu awọn aaye pataki ti imọ-ẹrọ ikole yii. Ige opo gigun ti epo ati prefabrication ni a ṣe ni agbegbe mimọ, ati ni akoko kanna, o rii daju pe ko si awọn ami ipalara tabi ibajẹ lori oju opo gigun ti epo ṣaaju gige. Awọn igbaradi fun nitrogen flushing ninu opo gigun ti epo yẹ ki o ṣee ṣe ṣaaju ṣiṣi opo gigun ti epo. Ni ipilẹ, a lo alurinmorin lati sopọ mọ-mimọ giga ati gbigbe gaasi mimọ-giga ati awọn opo gigun ti pinpin pẹlu ṣiṣan nla, ṣugbọn alurinmorin taara ko gba laaye. Awọn isẹpo casing yẹ ki o lo, ati pe ohun elo paipu ti a lo ni a nilo lati ni iyipada ninu eto lakoko alurinmorin. Ti ohun elo ti o ni akoonu erogba ga ju ti wa ni welded, agbara afẹfẹ ti apakan alurinmorin yoo fa gaasi inu ati ita paipu lati wọ ara wọn, ba mimọ, gbigbẹ ati mimọ ti gaasi gbigbe, eyiti yoo ja si awọn abajade to ṣe pataki. ati ni ipa lori didara iṣelọpọ.
Ni akojọpọ, fun gaasi mimọ-giga ati awọn opo gigun ti gbigbe gaasi pataki, paipu irin alagbara ti o ga julọ ti a ṣe itọju ni pataki gbọdọ ṣee lo, eyiti o jẹ ki eto opo gigun ti o ga-mimọ (pẹlu awọn paipu, awọn ohun elo pipe, awọn falifu, VMB, VMP) gba aaye kan. iṣẹ pataki ni pinpin gaasi mimọ-giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-26-2024