1. Ìtumọ̀ Ètò Gáàsì Gíga Jùlọ:
Ìpamọ́ àti ìdarí ìfúnpá àwọn gáàsì aláìṣiṣẹ́. Irú gáàsì aláìṣiṣẹ́: Àwọn gáàsì aláìṣiṣẹ́ tí ó wọ́pọ̀ (nitrogen, argon, afẹ́fẹ́ onítẹ̀síwájú, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ)
Ìwọ̀n páìpù: Láti 1/4 (páìpù àbójútó) sí páìpù àkọ́kọ́ 12-inch
Àwọn ọjà pàtàkì ti ètò náà ni: fáálùfáà diaphragm/bẹ́líù fáálùfáà/bọ́ọ̀lù fáálùfáà, sọ́pọ̀mọ́ra tó ga (VCR, fọ́ọ̀mù ìfọwọ́sowọ́pọ̀), sọ́pọ̀mọ́ra ferrule, fáálùfáà tó ń ṣàkóso ìfúnpá, sọ́pọ̀mọ́ra ìfúnpá, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Lọ́wọ́lọ́wọ́, ètò tuntun náà tún ní ètò gaasi pàtàkì kan, èyí tí ó ń lo àwọn sílíńdà gaasi tí a ti fi sí tẹ́lẹ̀ tàbí àwọn ọkọ̀ ojò fún ìtọ́jú àti gbigbe.
2. Ìtumọ̀ Ètò Ìwẹ̀nùmọ́:
Yíyọ àwọn ohun ìdọ̀tí kúrò nínú àwọn gáàsì olopobobo fún àwọn pílọ́ọ̀pù gáàsì mímọ́ gíga
3. Ìtumọ̀ Àwọn Kàǹtì Gáàsì:
Pèsè ìṣàkóso ìfúnpá àti àbójútó ìṣàn omi fún àwọn orísun gaasi pàtàkì (àwọn gaasi olóró, tó lè jóná, tó lè ṣe àtúnṣe, tó sì lè parẹ́), kí o sì ní agbára láti rọ́pò àwọn silinda gaasi.
Ibi ti o wa: O wa ni ilẹ Sub-fab tabi ilẹ isalẹ fun ibi ipamọ awọn gaasi pataki Orisun: NF3, SF6, WF6, ati bẹbẹ lọ.
Ìwọ̀n Pípù: Pípù gáàsì inú, ní gbogbogbòò 1/4 ínṣì fún pípù gáàsì, 1/4-3/8 ínṣì fún pípù gáàsì tí ó mọ́ tónítóní gíga.
Àwọn ọjà pàtàkì: Àwọn fálùfọ́ diaphragm mímọ́ tó ga, àwọn fálùfọ́ àyẹ̀wò, àwọn fálùfọ́ àtẹ̀gùn, àwọn fálùfọ́ àtẹ̀gùn, àwọn asopọ̀ mímọ́ tó ga (VCR, fọ́ọ̀mù ìfọwọ́sowọ́pọ̀). Àwọn àpótí gaasi wọ̀nyí ní agbára ìyípadà aládàáṣe fún àwọn fálùfọ́ láti rí i dájú pé ìpèsè gaasi máa ń lọ lọ́wọ́lọ́wọ́ àti ìyípadà àwọn fálùfọ́ láìléwu.
4. Ìtumọ̀ Pínpín:
Síso orísun gaasi pọ̀ mọ́ okùn ìkójọ gaasi
Ìwọ̀n ìlà: Nínú ilé iṣẹ́ ìṣẹ́ ërún, ìwọ̀n òpópónà ìpínkiri gaasi gbogbogbò máa ń wà láti ààbọ̀ ínṣì sí ààbọ̀ ínṣì.
Fọ́ọ̀mù ìsopọ̀: Àwọn páìpù gáàsì pàtàkì ni a sábà máa ń so pọ̀ nípasẹ̀ ìsopọ̀, láìsí ìsopọ̀ ẹ̀rọ tàbí àwọn ẹ̀yà mìíràn tí ń gbéra, nítorí pé ìsopọ̀ ìsopọ̀ náà ní ìgbẹ́kẹ̀lé ìdènà tó lágbára.
Nínú ilé iṣẹ́ ìfọṣọ, ọgọ́rọ̀ọ̀rún kìlómítà ni àwọn páìpù tí a so pọ̀ mọ́ gaasi tí ń gbé nǹkan jáde wà, èyí tí ó gùn tó nǹkan bí ẹsẹ̀ bàtà ogún tí a sì so pọ̀. Àwọn ìtẹ̀sí páìpù àti ìsopọ̀ ìfọṣọ onígun mẹ́rin náà tún wọ́pọ̀ gan-an.
5. Àpótí fáìlì oníṣẹ́ púpọ̀ (Àpótí Fáìlì Onírúurú, VMB) Ìtumọ̀:
Ó jẹ́ láti pín àwọn gáàsì pàtàkì láti orísun gáàsì sí oríṣiríṣi àwọn ẹ̀rọ.
Ìwọ̀n opo gigun inu: opo gigun ilana 1/4 inch, ati opo gigun pipasẹ 1/4 - 3/8 inch. Eto naa le lo iṣakoso kọnputa lati nilo awọn fáfà ti a ṣiṣẹ tabi awọn ipo idiyele kekere pẹlu awọn fáfà afọwọṣe.
Àwọn ọjà ètò: àwọn fálùfọ́ọ̀fù diaphragm/àwọn fálùfọ́ọ̀fù bellows tó mọ́ tónítóní, àwọn fálùfọ́ọ̀fù àyẹ̀wò, àwọn ìsopọ̀ mímọ́ tó ga (VCR, fọ́ọ̀mù micro-welding), àwọn fálùfọ́ọ̀fù tó ń darí ìfúnpá, àwọn fálùfọ́ọ̀fù ìfúnpá àti àwọn fálùfọ́ọ̀fù ìfúnpá, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Fún pípín àwọn fálùfọ́ọ̀fù aláìṣiṣẹ́, a máa ń lo Valve Manifold Panel - VMP (díìsì fálùfọ́ọ̀fù oníṣẹ́ púpọ̀), èyí tó ní ojú díìsì gáàsì tó ṣí sílẹ̀ tí kò sì nílò àwòrán àyè pípa àti ìfọ́ nitrogen afikún.
6. Àwo/àpótí fálùfù kejì (Pánẹ́lì Ìsopọ̀ Ohun Èlò) Ìtumọ̀:
So gaasi tí ẹ̀rọ semiconductor nílò láti orísun gaasi sí òpin ẹ̀rọ náà kí o sì pèsè ìlànà ìfúnpá tó báramu. Pánẹ́lì yìí jẹ́ ètò ìṣàkóso gaasi tó sún mọ́ òpin ẹ̀rọ náà ju VMB (àpótí fáìlì oníṣẹ́ púpọ̀) lọ.
Ìwọ̀n òpópónà gaasi: 1/4 - 3/8 inches
Ìwọ̀n opo omi olómi: 1/2 - 1 inch
Ìwọ̀n opo gigun omi ìtújáde: 1/2 - 1 inch
Àwọn ọjà pàtàkì: fáálùfù diaphragm/fáálùfù bellows, fáálùfù ọ̀nà kan, fáálùfù tí ń ṣàkóso ìfúnpá, fáálùfù ìfúnpá, fáálùfù ìfúnpá, fáálùfù ìfúnpá, fáálùfù ìfúnpá gíga (VCR, micro-welding), fáálùfù ìfúnpá, fáálùfù bọ́ọ̀lù, páálùfù, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-22-2024