Ile-iṣẹ Circuit Integrated Asekale Ise agbese 909 Pupọ jẹ iṣẹ akanṣe ikole ti ile-iṣẹ itanna ti orilẹ-ede mi lakoko Eto Ọdun Marun kẹsan lati ṣe awọn eerun igi pẹlu iwọn laini ti 0.18 microns ati iwọn ila opin ti 200 mm.
Imọ-ẹrọ iṣelọpọ ti awọn iyika iṣọpọ titobi pupọ kii ṣe pẹlu awọn imọ-ẹrọ pipe-giga nikan gẹgẹbi ẹrọ-ẹrọ micro, ṣugbọn tun gbe awọn ibeere giga si mimọ gaasi.
Ipese gaasi olopobobo fun Project 909 ni a pese nipasẹ iṣọpọ apapọ laarin Praxair Utility Gas Co., Ltd. ti Amẹrika ati awọn ẹgbẹ ti o yẹ ni Shanghai lati ṣe idasile ile-iṣẹ iṣelọpọ gaasi ni apapọ. ile, ibora ti agbegbe ti isunmọ 15,000 square mita. Awọn ti nw ati wu awọn ibeere ti awọn orisirisi ategun
nitrogen ti o ga julọ (PN2), nitrogen (N2), ati atẹgun giga-mimọ (PO2) ni a ṣe nipasẹ iyapa afẹfẹ. hydrogen ti o ga julọ (PH2) jẹ iṣelọpọ nipasẹ itanna. Argon (Ar) ati helium (O si) ti wa ni ra outsourced. Gaasi-kuasi-sọ di mimọ ati filtered fun lilo ninu Project 909. Gaasi pataki ni a pese ni awọn igo, ati pe minisita igo gaasi wa ni idanileko iranlọwọ ti ile-iṣẹ iṣelọpọ iyika iṣọpọ.
Awọn gaasi miiran tun pẹlu eto CDA afẹfẹ ti o gbẹ ti o mọ, pẹlu iwọn lilo ti 4185m3/h, aaye ìri titẹ ti -70°C, ati iwọn patiku ti ko ju 0.01um ninu gaasi ni aaye lilo. Mimi fisinuirindigbindigbin air (BA) eto, lilo iwọn didun 90m3 / h, titẹ iri ojuami 2 ℃, patiku iwọn ni gaasi ni aaye ti lilo ni ko tobi ju 0.3um, ilana igbale (PV) eto, lilo iwọn didun 582m3 / h, alefa igbale ni aaye lilo -79993Pa. Ṣiṣeto igbale (HV) eto, iwọn lilo 1440m3 / h, iwọn igbale ni aaye lilo -59995 Pa. Iyẹwu afẹfẹ afẹfẹ ati yara fifa fifa ni awọn mejeeji wa ni agbegbe 909 factory factory.
Asayan ti paipu ohun elo ati awọn ẹya ẹrọ
Gaasi ti a lo ninu iṣelọpọ VLSI ni awọn ibeere mimọ ti o ga pupọ.Ga-mimọ gaasi pipelinesni a maa n lo ni awọn agbegbe iṣelọpọ mimọ, ati iṣakoso mimọ wọn yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu tabi ga ju ipele mimọ ti aaye ti o lo! Ni afikun, awọn opo gigun ti gaasi mimọ-giga ni a lo nigbagbogbo ni awọn agbegbe iṣelọpọ mimọ. hydrogen mimọ (PH2), atẹgun giga-mimọ (PO2) ati diẹ ninu awọn gaasi pataki jẹ ina, ibẹjadi, atilẹyin ijona tabi awọn gaasi majele. Ti eto opo gigun ti gaasi ba jẹ apẹrẹ ti ko tọ tabi awọn ohun elo ti yan ni aibojumu, kii ṣe pe mimọ gaasi ti a lo ni aaye gaasi yoo dinku, ṣugbọn yoo tun kuna. O pade awọn ibeere ilana, ṣugbọn ko lewu lati lo ati pe yoo fa idoti si ile-iṣẹ mimọ, ni ipa lori aabo ati mimọ ti ile-iṣẹ mimọ.
Atilẹyin ti didara gaasi mimọ-giga ni aaye lilo kii ṣe da lori deede iṣelọpọ gaasi, ohun elo iwẹnumọ ati awọn asẹ, ṣugbọn tun ni ipa si iwọn nla nipasẹ ọpọlọpọ awọn ifosiwewe ninu eto opo gigun ti epo. Ti a ba gbẹkẹle ohun elo iṣelọpọ gaasi, ohun elo iwẹnumọ ati awọn asẹ O jẹ aṣiṣe nirọrun lati fa awọn ibeere konge ailopin ti o ga julọ lati sanpada fun apẹrẹ eto fifin gaasi aibojumu tabi yiyan ohun elo.
Lakoko ilana apẹrẹ ti iṣẹ akanṣe 909, a tẹle “Koodu fun Apẹrẹ ti Awọn ohun ọgbin mimọ” GBJ73-84 (boṣewa ti isiyi jẹ (GB50073-2001)), “Koodu fun Apẹrẹ ti Awọn ibudo Air Compressed” GBJ29-90, “koodu fun Oniru Awọn Ibusọ Atẹgun" GB50030-91 , "Koodu fun Apẹrẹ ti Hydrogen ati Oxygen Stations" GB50177-93, ati awọn ilana imọ-ẹrọ ti o yẹ fun yiyan awọn ohun elo opo gigun ati awọn ẹya ẹrọ. “koodu fun Apẹrẹ ti Awọn ohun ọgbin mimọ” ṣe ipinnu yiyan ti awọn ohun elo opo gigun ti epo ati awọn falifu bi atẹle:
(1) Ti o ba jẹ pe gaasi ti nw ti o tobi ju tabi dogba si 99.999% ati pe aaye ìri ti dinku ju -76 ° C, 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-erogba irin alagbara, irin pipe (316L) pẹlu odi inu ti itanna tabi OCr18Ni9 irin alagbara, irin pipe (304) pẹlu Electropolished akojọpọ odi yẹ ki o wa lo. Awọn àtọwọdá yẹ ki o jẹ a diaphragm àtọwọdá tabi Bellows àtọwọdá.
(2) Ti o ba jẹ pe gaasi ti nw ti o tobi ju tabi dogba si 99.99% ati pe aaye ìri naa kere ju -60 ° C, OCr18Ni9 tube irin alagbara (304) pẹlu ogiri inu elekitiroli yẹ ki o lo. Ayafi fun awọn falifu bellows ti o yẹ ki o lo fun awọn paipu gaasi ijona, awọn falifu bọọlu yẹ ki o lo fun awọn paipu gaasi miiran.
(3) Ti aaye ìri ti afẹfẹ fisinuirindigbindigbin gbẹ ba kere ju -70°C, OCr18Ni9 paipu irin alagbara (304) pẹlu odi inu didan yẹ ki o lo. Ti aaye ìri ba kere ju -40℃, OCr18Ni9 alagbara, irin paipu (304) tabi gbona-dip galvanized galvanized seamless, steel pipe yẹ ki o lo. Awọn àtọwọdá yẹ ki o jẹ a Bellows àtọwọdá tabi a rogodo àtọwọdá.
(4) Awọn ohun elo àtọwọdá yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu awọn ohun elo paipu asopọ.
Gẹgẹbi awọn ibeere ti awọn pato ati awọn igbese imọ-ẹrọ ti o yẹ, a ni akọkọ ro awọn aaye wọnyi nigbati o yan awọn ohun elo opo gigun ti epo:
(1) Agbara afẹfẹ ti awọn ohun elo paipu yẹ ki o jẹ kekere. Awọn paipu ti awọn ohun elo ti o yatọ ni o yatọ si air permeability. Ti o ba yan awọn paipu ti o ni agbara afẹfẹ nla, a ko le yọ idoti kuro. Awọn paipu irin alagbara ati awọn paipu bàbà dara julọ ni idilọwọ awọn ilaluja ati ipata ti atẹgun ninu afefe. Bí ó ti wù kí ó rí, níwọ̀n bí àwọn paipu irin alagbara, irin kò ṣiṣẹ́ ju awọn paipu bàbà lọ, awọn ọpọn bàbà n ṣiṣẹ diẹ sii ni gbigba ọrinrin ninu oju-aye lati wọ inu awọn oju inu wọn. Nitorinaa, nigbati o ba yan awọn paipu fun awọn opo gigun ti gaasi mimọ-giga, irin alagbara irin pipe yẹ ki o jẹ yiyan akọkọ.
(2) Inu inu ti awọn ohun elo paipu ti wa ni adsorbed ati pe o ni ipa kekere lori ṣiṣe ayẹwo gaasi naa. Lẹhin ti irin alagbara, irin paipu ti wa ni ilọsiwaju, kan awọn iye ti gaasi yoo wa ni idaduro ninu awọn oniwe-irin lattice. Nigbati gaasi-mimọ giga ba kọja, apakan gaasi yii yoo wọ inu ṣiṣan afẹfẹ ati fa idoti. Ni akoko kanna, nitori adsorption ati itupalẹ, irin ti o wa lori inu inu paipu naa yoo tun ṣe iye kan ti lulú, ti o fa idoti si gaasi ti o ga julọ. Fun awọn ọna fifin pẹlu mimọ loke 99.999% tabi ipele ppb, 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere carbon alagbara, irin pipe (316L) yẹ ki o lo.
(3) Atako yiya ti awọn paipu irin alagbara, irin dara ju ti awọn paipu bàbà, ati eruku irin ti a ṣẹda nipasẹ ogbara ṣiṣan afẹfẹ jẹ diẹ diẹ sii. Awọn idanileko iṣelọpọ pẹlu awọn ibeere ti o ga julọ fun mimọ le lo 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere carbon alagbara, irin pipes (316L) tabi OCr18Ni9 irin alagbara, irin pipes (304), awọn paipu Ejò ko ṣee lo.
(4) Fun awọn eto fifin pẹlu gaasi mimọ ju 99.999% tabi ppb tabi awọn ipele ppt, tabi ni awọn yara mimọ pẹlu awọn ipele imototo afẹfẹ ti N1-N6 ni pato ninu “koodu Apẹrẹ Factory Clean”, awọn paipu-mimọ tabiEP olekenka-mimọ onihoyẹ ki o lo. Mọ “tube mimọ pẹlu dada inu ti o ni didan”.
(5) Diẹ ninu awọn eto opo gigun ti epo pataki ti a lo ninu ilana iṣelọpọ jẹ awọn gaasi ipata pupọ. Awọn paipu ti o wa ninu awọn ọna opo gigun ti epo gbọdọ lo awọn paipu irin alagbara, irin ti o ni ipata bi awọn paipu. Bibẹẹkọ, awọn paipu yoo bajẹ nitori ibajẹ. Ti awọn aaye ipata ba waye lori oke, awọn paipu irin alailẹgbẹ lasan tabi awọn paipu irin welded galvanized ko ṣee lo.
(6) Ni opo, gbogbo awọn asopọ opo gigun ti epo yẹ ki o wa ni welded. Niwon alurinmorin ti galvanized, irin pipes yoo run awọn galvanized Layer, galvanized, irin pipes ti wa ni ko lo fun oniho ni mọ awọn yara.
Gbigba awọn nkan ti o wa loke sinu ero, awọn paipu opo gaasi ati awọn falifu ti a yan ninu iṣẹ & 7& jẹ bi atẹle:
Awọn paipu eto nitrogen ti o ga julọ (PN2) jẹ ti 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn odi inu elekitiropolished, ati awọn falifu jẹ ti irin alagbara, irin bellows valves ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto nitrogen (N2) jẹ ti 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn odi inu elekitirolished, ati awọn falifu naa jẹ ti irin alagbara irin bellows valves ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto hydrogen ti o ga julọ (PH2) jẹ ti 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn odi inu elekitiropolished, ati awọn falifu naa jẹ ti irin alagbara irin bellows valves ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto atẹgun ti o ga julọ (PO2) jẹ ti 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn odi inu elekitiro-didan, ati awọn falifu ti a ṣe ti irin alagbara irin bellows valves ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto Argon (Ar) jẹ ti 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn odi inu elekitiriki, ati awọn falifu bellows irin alagbara ti ohun elo kanna ni a lo.
Awọn paipu eto helium (He) jẹ ti 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn ogiri inu elekitirolished, ati awọn falifu naa jẹ ti irin alagbara irin bellows valves ti ohun elo kanna.
Afẹfẹ ti a fisinuirindigbindigbin ti o mọ (CDA) awọn ọpa oniho jẹ ti OCr18Ni9 irin alagbara, irin pipes (304) pẹlu awọn odi inu didan, ati awọn falifu jẹ ti awọn irin alagbara irin bellows falifu ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto atẹgun ti a fisinuirindigbindigbin (BA) jẹ ti OCr18Ni9 awọn paipu irin alagbara (304) pẹlu awọn odi inu didan, ati awọn falifu jẹ ti awọn falifu bọọlu irin alagbara ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto igbale ilana (PV) jẹ ti awọn paipu UPVC, ati awọn falifu jẹ ti awọn falifu labalaba igbale ti a ṣe ti ohun elo kanna.
Awọn paipu eto igbale mimọ (HV) jẹ ti awọn paipu UPVC, ati awọn falifu naa jẹ ti awọn falifu labalaba igbale ti ohun elo kanna.
Awọn paipu ti eto gaasi pataki jẹ gbogbo 00Cr17Ni12Mo2Ti kekere-carbon alagbara, irin pipes (316L) pẹlu awọn odi inu elekitiropolished, ati awọn falifu ti a ṣe ti irin alagbara irin bellows valves ti ohun elo kanna.
3 Ikole ati fifi sori ẹrọ ti pipelines
3.1 Abala 8.3 ti “Kọọdi Apẹrẹ Ilé Ile-iṣọ mimọ” ṣalaye awọn ipese wọnyi fun awọn isopọ opo gigun ti epo:
(1) Awọn asopọ paipu yẹ ki o wa ni welded, ṣugbọn awọn ọpa oniho ti o gbona-dip galvanized, irin pipe yẹ ki o wa ni okun sii.Awọn ohun elo ti o ni idalẹnu ti awọn asopọ ti o ni asopọ yoo ni ibamu pẹlu awọn ibeere ti Abala 8.3.3 ti alaye yii.
(2) Awọn paipu irin alagbara yẹ ki o wa ni asopọ nipasẹ alurinmorin argon arc ati alurinmorin apọju tabi alurinmorin iho, ṣugbọn awọn opo gigun ti gaasi mimọ yẹ ki o sopọ nipasẹ alurinmorin apọju laisi awọn ami lori odi inu.
(3) Isopọ laarin awọn pipeline ati ẹrọ yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu awọn ibeere asopọ ti ẹrọ naa.Nigbati o nlo awọn asopọ okun, awọn irin-irin irin yẹ ki o lo.
(4) Awọn asopọ laarin pipelines ati falifu yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu awọn wọnyi ilana
① Ohun elo lilẹ ti n ṣopọ awọn pipeline gaasi mimọ-giga ati awọn falifu yẹ ki o lo awọn gasiketi irin tabi awọn ferrules meji ni ibamu si awọn ibeere ti ilana iṣelọpọ ati awọn abuda gaasi.
② Awọn ohun elo lilẹ ni asapo tabi asopọ flange yẹ ki o jẹ polytetrafluoroethylene.
3.2 Ni ibamu si awọn ibeere ti awọn pato ati awọn igbese imọ-ẹrọ ti o yẹ, asopọ ti awọn opo gigun ti gaasi mimọ yẹ ki o wa ni welded bi o ti ṣee. Taara apọju alurinmorin yẹ ki o wa yee nigba alurinmorin. Awọn apa aso paipu tabi awọn isẹpo ti pari yẹ ki o lo. Awọn apa aso paipu yẹ ki o jẹ ti ohun elo kanna ati didan dada inu bi awọn paipu. ipele, nigba alurinmorin, ni ibere lati se ifoyina ti awọn alurinmorin apa, funfun aabo gaasi yẹ ki o wa ni a ṣe sinu awọn alurinmorin paipu. Fun irin alagbara, irin oniho, argon arc alurinmorin yẹ ki o wa ni lo, ati argon gaasi ti kanna ti nw yẹ ki o wa ni a ṣe sinu paipu. Asopọ ti o tẹle tabi asopọ ti o tẹle gbọdọ ṣee lo. Nigbati o ba n so awọn flanges pọ, awọn ferrules yẹ ki o lo fun awọn asopọ asapo. Ayafi fun awọn paipu atẹgun ati awọn paipu hydrogen, eyiti o yẹ ki o lo awọn gasiketi irin, awọn paipu miiran yẹ ki o lo awọn gasiketi polytetrafluoroethylene. Lilo iwọn kekere ti roba silikoni si awọn gasiketi yoo tun munadoko. Mu ipa lilẹ pọ si. Awọn igbese ti o jọra yẹ ki o ṣe nigbati awọn asopọ flange ba ṣe.
Ṣaaju ki iṣẹ fifi sori ẹrọ bẹrẹ, ayewo wiwo alaye ti awọn paipu,awọn ohun elo, falifu, ati be be lo gbọdọ wa ni ti gbe jade. Odi inu ti awọn paipu irin alagbara, irin yẹ ki o gbe ṣaaju fifi sori ẹrọ. Awọn paipu, awọn ohun elo, awọn falifu, ati bẹbẹ lọ ti awọn opo gigun ti atẹgun yẹ ki o wa ni idinamọ ti o muna lati epo, ati pe o yẹ ki o dinku ni ibamu si awọn ibeere ti o yẹ ṣaaju fifi sori ẹrọ.
Ṣaaju ki o to fi eto naa sori ẹrọ ati fi sii, gbigbe ati eto opo gigun ti epo yẹ ki o di mimọ patapata pẹlu gaasi mimọ-giga ti a firanṣẹ. Eyi kii ṣe awọn patikulu eruku nikan ti o ṣubu lairotẹlẹ sinu eto lakoko ilana fifi sori ẹrọ, ṣugbọn tun ṣe ipa gbigbẹ ninu eto opo gigun ti epo, yiyọ apakan ti gaasi ti o ni ọrinrin ti o gba nipasẹ odi pipe ati paapaa ohun elo paipu.
4. Idanwo titẹ pipeline ati gbigba
(1) Lẹhin ti a ti fi sori ẹrọ eto naa, ayewo redio 100% ti awọn paipu ti n gbe awọn omi majele ti o ga julọ ni awọn opo gigun ti gaasi yoo ṣee ṣe, ati pe didara wọn kii yoo kere ju Ipele II lọ. Awọn paipu miiran yoo wa labẹ ayẹwo ayẹwo redio, ati ipin ayẹwo ayẹwo ko yẹ ki o kere ju 5%, didara ko ni kere ju ite III.
(2) Lẹhin ti o kọja ayewo ti kii ṣe iparun, idanwo titẹ yẹ ki o ṣe. Lati rii daju gbigbẹ ati mimọ ti eto fifin, idanwo titẹ hydraulic ko gbọdọ ṣe, ṣugbọn idanwo titẹ pneumatic yẹ ki o lo. Idanwo titẹ afẹfẹ yẹ ki o ṣee ṣe ni lilo nitrogen tabi afẹfẹ fisinuirindigbindigbin ti o baamu ipele mimọ ti yara mimọ. Iwọn idanwo ti opo gigun ti epo yẹ ki o jẹ awọn akoko 1.15 titẹ apẹrẹ, ati titẹ idanwo ti opo gigun ti igbale yẹ ki o jẹ 0.2MPa. Lakoko idanwo naa, titẹ yẹ ki o jẹ diẹdiẹ ati laiyara pọ si. Nigbati titẹ naa ba dide si 50% ti titẹ idanwo, ti ko ba rii aiṣedeede tabi jijo, tẹsiwaju lati mu titẹ titẹ sii nipasẹ igbese nipasẹ 10% ti titẹ idanwo, ki o mu titẹ naa duro fun awọn iṣẹju 3 ni ipele kọọkan titi titẹ idanwo naa. . Ṣe idaduro titẹ fun awọn iṣẹju 10, lẹhinna dinku titẹ si titẹ apẹrẹ. Akoko idaduro titẹ yẹ ki o pinnu ni ibamu si awọn iwulo wiwa jijo. Aṣoju foomu jẹ oṣiṣẹ ti ko ba si jijo.
(3) Lẹhin ti eto igbale naa ti kọja idanwo titẹ, o yẹ ki o tun ṣe idanwo alefa igbale wakati 24 ni ibamu si awọn iwe apẹrẹ, ati pe oṣuwọn titẹ ko yẹ ki o tobi ju 5%.
(4) Idanwo jijo. Fun awọn eto opo gigun ti ppb ati ppt, ni ibamu si awọn pato ti o yẹ, ko si jijo ko yẹ ki o gbero bi oṣiṣẹ, ṣugbọn idanwo iye jijo ni a lo lakoko apẹrẹ, iyẹn ni, idanwo iye jijo ni a ṣe lẹhin idanwo wiwọ afẹfẹ. Titẹ naa jẹ titẹ iṣẹ, ati titẹ naa duro fun awọn wakati 24. Apapọ jijo wakati jẹ kere ju tabi dogba si 50ppm bi oṣiṣẹ. Iṣiro ti jijo jẹ bi wọnyi:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Ninu agbekalẹ:
Jijo wakati kan (%)
P1-Iwọn titẹ pipe ni ibẹrẹ idanwo naa (Pa)
P2-Iwọn titẹ pipe ni ipari idanwo naa (Pa)
T1-iwọn otutu ni ibẹrẹ idanwo (K)
T2-iwọn otutu ni ipari idanwo (K)
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-12-2023